在集成电路生产中，超纯水主要用于清洗硅片，另有少量用于药液配制，其中包括硅片氧化的水汽源，部分设备的冷却水，配制电镀液等。

化工行业中的纯水主要应用于电池溶剂用水、化学分析、化工材料、产品清洗、物质的分离、浓缩、提纯等产线，纯水电导率0.1uS/cm-15uS/cm即可满足要求。

在纯水设备中通过前置预处理装置，对原水进行初步的过滤，达到反渗透主机的进水要求。

超纯水设备采用高精密器件，无易损件，只需按时对设备进行维护保养，就可以增加设备使用时间。

光电产业超纯水设备由石英砂过滤器、活性炭过滤器、软化器和精密过滤器组成预处理系统，主要设备有反渗透装置、EDI模块。传统的超纯水设备采用阴阳混床装置，如今EDI技术取代了混床的应用。

在反渗透系统中，RO膜是至关重要的，其性能不仅直接影响水质以及产水量，同时也是整个系统能够稳定运行的关键。因此需要对设备进行定时的维护和保养。

反渗透纯水设备是采用反渗透技术，利用半透过性膜选择性通过的特点，对原水进行过滤，使产水满足广大行业的使用标准。 现反渗透纯水设备已广泛应用于以下行业：

反渗透膜经过长时间运行后由于无机盐、金属氧化膜、胶体、悬浮固体物等污染，导致产水水质不符合标准，此时应该对反膜元件进行清洗。

一般反渗透纯水设备都配有多介质过滤器、活性炭过滤器、软化树脂过滤器。定期的正反冲洗可以清除过滤器中存留的杂质污染物，活性炭过滤可有效去除水中的游离氯、色度、微生物、有机物以及部份重金属等有害物质。