第三种采用双级反渗透加EDI装置 优点是无需酸碱再生便可连续制取超纯水，没有环境污染。操作维护简便，运行成本低 缺点在于初期投资相对较高

1、采用离子交换树脂制备纯水的处理方式 原水→石英砂过滤器→活性炭过滤器→保安过滤器→阳床→阴床→混床→纯水箱→纯水泵→精密过滤器→用水点

活性炭的作用主要是去除大分子有机物、铁氧化物、余氯等物质。有机物、余氯、铁氧化物易使交换树脂中毒，而余氯、阳离子表面活性剂等还会破坏膜结构，使反渗透膜失效。

树脂“抱团”现象是指混床中阴阳离子树脂混合在一起时，由于阳离子树脂脱下来的H+离子与阴离子树脂脱下来的OH-离子互相结合成水，阳离子树脂失去一些阳离子而显负电性，阴离子树脂失去一些阴离子而显正电性，这两种带异性电荷的树脂小球会互相吸引成团状。

预处理装置主要由原水泵、石英砂过滤器、活性炭过滤器、保安过滤器等组成。其主要作用是降低原水的污染指数、余氯等其他杂质，达到反渗透的进水要求。

抛光树脂是由氢型强酸性阳离子交换树脂及氢氧型强碱性阴离子交换树脂混合而成，一般用于超纯水系统的末端，经过抛光树脂精处理后的水质能达到18兆欧以上，并对TOC、SIO2有一定的抑制。

反渗透膜一般由高分子材料制成，表面微孔直径一般在0.5～10nm之间，一般可分为醋酸纤维素膜、芳香族聚酰肼膜、芳香族聚酰胺膜等，透过性的大小与膜本身的化学结构有关。

目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm。

总溶解固体（TDS）单位：ppm，1ppm表示水中某物质或离子的浓度单位 电导率单位：μs/cm ，1ppm=2μs/cm